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Arbeitskreis DUV/VUV

Datum 25.03.2010
von 10:30 bis 17:00
Ort Dresden
Kontakt Werner Riggers
E-Mail wriggers@laseroptik.de     
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Themen 

  • "Entwicklung von diffraktiven Mikrospiegelarrays für Mikroskopiesysteme der Biologie und Halbleitertechnik."
    Herr Heber, Fraunhofer IPMS 
  • "MEMS Mikrospiegelarrays für die adaptiv-optische Phasenkontrolle"
    Dr. Andreas, Fraunhofer IPMS
  • "Beschleunigung von Quarzglas-Lebensdauertests: Ist Mikrokanalbildung vermeidbar?"
    Dr. Mühlig,  ipht-jena 
  • "Hochleistungs-DUV-Mikroskop-Objektive; ein Vergleich polychromatischer und monochromatischer Optikdesigns"
    Dr. Vollrath, Fa. KLA-Tencor MIE 
  • "Industriefilter: wesentliche Eigenschaften und ihre Darstellung in Zeichnungen"
    Herr Schulz-Grosser, Fa. Jos. Schneider Optische Werke GmbH
  • "Reaktive Sputterdeposition von mehrkomponentigen Verbindungsschichten für Filter unter Verwendung zweier Targetmaterialien bzw. zweier Reaktivgase."
    Dr. Bartzsch, Fraunhofer FEP

 

Veranstaltungsort:
Fraunhofer IPMS, Maria Reiche Str.2, 01109 Dresden


Vorabendtreffen

Bei Intresse melden Sie sich bitte bei Herrn W. Riggers (wriggers@laseroptik.de), damit er entsprechend einen Tisch reservieren lassen kann. Über das
"Wann und Wo" bekommen Sie dann rechtzeitig eine E-Mail. Die Kosten beim Vorabendtreffen muß jeder selber tragen.