Arbeitskreis DUV/VUV
| Datum |
25.03.2010 von 10:30 bis 17:00 |
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| Ort | Dresden |
| Kontakt | Werner Riggers |
| wriggers@laseroptik.de | |
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Themen
- "Entwicklung von diffraktiven Mikrospiegelarrays für Mikroskopiesysteme der Biologie und Halbleitertechnik."
Herr Heber, Fraunhofer IPMS
- "MEMS Mikrospiegelarrays für die adaptiv-optische Phasenkontrolle"
Dr. Andreas, Fraunhofer IPMS
- "Beschleunigung von Quarzglas-Lebensdauertests: Ist Mikrokanalbildung vermeidbar?"
Dr. Mühlig, ipht-jena
- "Hochleistungs-DUV-Mikroskop-Objektive; ein Vergleich polychromatischer und monochromatischer Optikdesigns"
Dr. Vollrath, Fa. KLA-Tencor MIE
- "Industriefilter: wesentliche Eigenschaften und ihre Darstellung in Zeichnungen"
Herr Schulz-Grosser, Fa. Jos. Schneider Optische Werke GmbH
- "Reaktive Sputterdeposition von mehrkomponentigen Verbindungsschichten für Filter unter Verwendung zweier Targetmaterialien bzw. zweier Reaktivgase."
Dr. Bartzsch, Fraunhofer FEP
Veranstaltungsort:
Fraunhofer IPMS, Maria Reiche Str.2, 01109 Dresden
Vorabendtreffen
Bei Intresse melden Sie sich bitte bei Herrn W. Riggers (wriggers@laseroptik.de), damit er entsprechend einen Tisch reservieren lassen kann. Über das
"Wann und Wo" bekommen Sie dann rechtzeitig eine E-Mail. Die Kosten beim Vorabendtreffen muß jeder selber tragen.



